金屬膜厚分析儀 XRF 產品型號：FT160
#元素成分分析 #表面分析
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FT160為微型電子器件的微焦斑分析，這款不會過時的儀器，專為微焦斑和超薄鍍層分析而設計，可應對日益小型化的電子行業及PCB板鍍層的挑戰。
■ FT160可提供：
1. 毛細管聚焦光學元件和高靈敏度SDD檢測器。
2. 小於50μm的樣品測量
3. 卓越的性能，以滿足半導體晶片技術的挑戰。
4. 快速得到結果，使用簡單，以提高生產力。
5. 加快樣品呈現速度的寬大樣品艙門和樣品台。
6. 進行測試監控的寬大樣品觀察窗。 -
項目 描述 X射線照射方向 上方照射式 測量元素 Al (13) ~ U(92) 靶材 鎢(W) target、鉬(Mo) target 測定環境 大氣 Ｘ射線發生部 45kV, 鉬Mo 靶材 設計 毛細管聚焦Poly-capillary 管電流 最大1000μA 可變 X射線檢測部 Silicon Drift Detector (SDD) 測定面積 φ0.030mm(FWHM 0.017mm) 最大樣品面積 FT160長400mm×寬300mm×高100mm
FT160L 600mm x 600mm專用款電動XY樣品台驅動移動範圍 400×300mm CCD Camera 高品質相機可變焦16倍 對焦模式 雷射自動對焦 測量模式 Thin Film FP (5層, 10元素)/檢量線法
