紅外線加熱式熱脫附質譜儀 TDS1200Ⅱ 產品型號：TDS1200Ⅱ
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特色紅外加熱式熱脫附質譜儀TDS1200Ⅱ是利用質譜儀在超高真空中，通過程序升溫即時觀察樣品脫附逸出的化合物。由於在超真空中量測，即使微量的水、氫、CO2，也可以被檢測，對於從樣品中脫附的分子，可以定性及定量化學物質。還可以獲得脫附氣體的吸收/結合狀態和擴散過程等信息。適用於容易進行紅外線加熱的測量，例如薄膜樣品和具有薄片形式的樣品。紅外線加熱方式
Load Lock Chamber樣品預載腔體
Load Lock Chamber樣品預載腔體是實現高靈敏度、高效率(高通量)測量的關鍵技術。我們的傳送腔體和樣品轉移機制，可以在超高真空下僅將樣品快速插入分析室。 如果沒有預載腔體，則每次更換樣品時都必須將分析室暴露在大氣之下。分析室暴露於大氣之下會吸入大量空氣(主要是水)，需要長時間抽真空才能恢復到合適的真空度。
對於熱脫附分析中，在加熱樣品時，不加熱分析室或分析室內部的部件是非常重要。如果TDS 在分析期間加熱腔室，則很難區分從樣品中熱脫附的氣體和從腔室中熱脫附的氣體。 TDS1200II通過石英棒引入的紅外輻射直接加熱樣品，即使在高溫範圍內也能抑制背景水平的增加，從而提供高靈敏度測量。QMS游離腔
為了以高靈敏度檢測熱脫附的氣體，QMS游離腔直接設計在樣品上方。樣品正上方的位置利於樣品熱脫附的氣體直接到達QMS游離腔，從而能高度靈敏地檢測易於沉積的金屬或高分子量的有機化合物。定量脫附的氣體
數據處理軟體可以對脫附氣體進行定量分析，需要定期校準質譜儀的靈敏度。一般使用標準漏孔進行靈敏度校準需要準備與氣體類型相同的昂貴標準品，並且校準過程需要花費大量時間。此外，當使用標準洩漏有毒氣體時，安全衛生控制也更加嚴格。與標準洩漏校準方法相比，ESCO當前的離子電流量化程序可以快速、簡單、安全地量化逸出氣體。通過定期測量ESCO的 NIST可追溯氫標準樣品，即可以獲得高精度的結果。即使對氫氣以外的氣體也能進行靈敏度校正，並且已證實與AIST國家標準的標準洩漏校正的定量結果非常吻合。
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項目 規格 真空壓力 主腔體 <5*10-7 樣品尺寸 15*15*4 mm 溫度範圍 50-1200℃ 升溫速率 1-180℃/min 偵測器 QMS 感度 Ar 1*10" Ar/s (S/N=3) 軟體 TDS measurement, Data Viewer, Quick CSV -
▶熱附脫質譜TDS應用矽晶圓逸散氣體分析
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