奈米級超高解析度檢測系統 X-Ray Image 產品型號：Nanomex
nanomex 是超高分辨率的奈米焦點X射線檢測系統，用於檢測半導體及SMT產業的高品質的組件和相關部件。可用於2D X射線檢測，以及全3D電腦斷層掃描(nanoCT®)，搭配全新的x|act軟體模組，與nanomex選配系統，可滿足玲缺陷檢測要求。
#非破壞性分析X-RAY
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- 滿足最高檢測要求，如半導體和SMT的高精密封裝產品。
- 高功率nm焦點管(4合1)，實現從nm分辨到高功率多種應用。
- 可配高清晰分辨的數位影像系統，100萬畫素即時數位圖像。
- 180 kV/ 15W的高功率微聚焦管具有高達200nm的細部檢測能力。
- 先進的射線能量穩定技術。
- 維修率低，壽命長，開放式nanofocus®光管。
- 人體工學設計，操作更簡便。
- 高度的可再現性。 可升級到nanoCT®系統
■ 產品特點- 可結合2D/3D的CT操作模式
- 傑出的操作便利性
- 鑽石靶材可有效的提升光管強度，藉此提升影像品質
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設備規格 內容說明 最大管電壓 180 kV 最大功率 20 W 細部檢測能力 高達0.2 μm 最小焦物距 0.3 mm 最小體素解析度 < 0.3um 幾何放大倍率(3D) 300倍 最大目標尺寸(高 x 直徑) 250 x 240 mm 最大目標重量 3kg/6.6lbs. 圖像鏈 100萬圖元的數位圖像鏈 操作 4軸(X, T, Z, R) 3D CT掃描 可以 系統尺寸 1980 mm x 1600 mm x 925 mm 系統重量 1900kg / 4190 lbs 輻射安全 - 全防輻射安全機櫃，依據德國ROV和美國性能標準21 CFR 1020.40 (機櫃X-Ray系統)。
- 輻射洩漏率：從機台壁的10cm處測量 <1.0µSv/h。
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▶ BGA 基板
▶ 精密零組件
▶ 電子零件
▶ PCBA 組裝
▶ 半導體封裝
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