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1. 搭載高輸出超短脈衝雷射(皮秒雷射)來實現高生産性，藉由超短脈衝雷射(皮秒雷射)加工來實現熱影響較少的加工。2. 搭載最新的高速數位掃描振鏡，實現高精度、高生産性，藉由馬達編碼器與光學尺來實現高再現性精度。
3. 可能可以削減去膠渣處理
4. 影像處理功能
5. ASC機能（同步控制功能）節省大量加工時間，可使掃描振鏡與加工平台來同歩進行高品質之連續加工功能。
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■ 標準功能
分類 項目 規格 備註 加工平台 行程 400×400mm 滾珠螺桿驅動 加工範圍 400×400mm 最大速度 250mm/sec 15000mm/min Ｚ軸 行程 150mm 最大速度 200mm/sec 12000mm/min 外形 設置空間 1500×1500×2200mm 可用電梯搬送 重量 搬送 1900Kg 定位 10μ以下
最好0.05μm搭載光學尺 控制裝置 定位（無輪郭指令） 搭載Pitch誤差補正功能 影像處理 相機２式 加工行程全域檢測 200萬畫素、黑白 出力監視器１ 檢查雷射輸出 於雷射發振器出口來計測
■ 選配分類 項目 規格 備註 高度檢測感應器 雷射感應器 檢測薄膜材料高度用 觀察監視器 CCD監視器 檢視加工點周遭 出力監視器２ fΘLens之後的輸出測定 檢測薄膜材料高度用 集塵裝置 2.2KW集塵機 PushPull方式 自動化對應 個別對應
■ 掃描振鏡専用CAD／CAM系統分類 項目 規格 備註 高度檢測感應器 雷射感應器 檢測薄膜材料高度用 觀察監視器 CCD監視器 檢視加工點周遭 -
▶ 金屬細微加工 Precise Cutting of metal
▶ SiC 雕刻加工 SiC engraving
▶ 陶瓷生胚切斷 LTCC green sheet cutting
▶ ITO膜剥離
▶ Au膜剥離
▶ 銅膜剝離及極小孔鑽孔
