X-ray影像 工業CT跨入非破壞高精度量測領域
然而，過往工業CT系統，礙於機台精密度及系統能力，如X光的射束硬化、圖像偽影等原理產生干擾，而無法實現高精度的尺寸測量分析(Metrology) ; 隨工藝系統快速日新月異，工業CT不斷在系統內外的幾何精密特性發展，測量需求研究進步，現行高階工業CT已可達到尺寸量測精密分析使用。
工業CT的好處：
(1) 工業CT能同時測量物體的外部和內部幾何形狀，無須拆解及破壞工件本身
(2) 能夠在較短的時間內，獲得內外部整體完整結構情況
(3) 非接觸式測量
▲圖二. GE Phoenix v|tome|x M
先進國家目前正在快速發展三維工業CT的溯源校準技術研究，並逐步制定相關的國家和國際標準。如一些歐洲國家X光製造大廠，其高科技研發機構，已於CT量測應用取得些成果。包含德國電氣工程師協會和相關高科技研究機構，共同針對工業CT尺寸量測(Metrology)業界標準指向German Guideline VDI/VDE2630，也提出修正 ISO 10360-CT草案等。
GE Phoenix v|tome|x M 量測精度最高可達近乎4um
工業CT的重要性在於，即使零部件在組裝前符合尺寸規格，但部件尺寸卻有可能在組裝後發生各種變化變異，工業CT可用來進行組裝配件的失效分析，或是X光掃描立體圖檔和CAD標準圖檔進行尺寸匹配，滿足各式各樣不同材料與工件形狀的量測要求。
現行工業技術和製造能力不斷快速提升，各種複雜殼體，無論是塑膠射出或手機鋁合金外殼，或輕金屬壓鑄，如汽車引擎汽缸設計，須具高複雜內部結構，和較高加工精度要求，一般光學式或接觸式CMM (又稱三次元量測：Coordinate Measuring Machine，為目前國際上測量精度最高的物體三維幾何量測工具) 能針對外部表面進行量測，對於內部分析無能為力，工業CT X光的穿透性及立體成像特性，使得複雜的零件內部有了高精度尺寸量測的可能，彌補三次元量測儀的不足。
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