- 技術原理 -
17.Oct.2007
X-ray螢光-XRF 波長分散方式(WDS-XRF)與能量分散方式(EDS-XRF)之比較
波長分散方式(WDS-XRF)與能量分散方式(EDS-XRF)之比較
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種類/說明項目
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波長分散方式
(WDS)
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能量分散方式
(EDS)
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說 明
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分析元素
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Be～U
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Na(C)～U
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波長分散式用於玻璃及礦物研究
能量分散式用於一般塑料/土壤/金屬/檢測及品管
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多元素同時測定
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單個元素
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多元素
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WDS的設定，可同時測定最大28個元素，一般用逐次方式測定(每個元素需要一定的時間)。
EDS可全元素分析
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測定濃度範圍
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1 ppm～100%
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1.7 ppm～100%
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EDS的檢出下限常因目的元素和基質而異，而WDS則根據裝備的分光晶體而有所不同。
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能量解析度
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約0.2%～
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約2.5%～
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EDS的解析度較差，但用波峰分離軟體可實現接近波峰的分離和定量。
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樣品前處理
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需要
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不需要
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WDS雖然解析度高但樣品不規則,及不同厚度及基值亦會影響數據, 受樣品表面的精細度和顆粒度的影響，欲測得精確的定量必須對樣品進行塊狀加工、表面研磨等前處理。
EDS可分析不規則樣品, SII的EDS甚至已考量樣品厚度, 種類, 精準量測。
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測定時間
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數分～數十分鐘
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數十秒
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EDS可用短時間進行多種元素的同時測定。
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對測定元素的影響
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有(無)
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無關
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EDS因立體角度大，最大必v為50w左右，WDS則必須利用分光晶體，所以必v一般為數kw左右。因此，樣品為輕元素(纖維、塑膠、半導體等)時，照射時間會變長，並受熱量的損壞。
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操作性
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複雜
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簡單
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WDS測定條件設定複雜, 。
EDS操作條件設定簡單。
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儀器尺寸與重量
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大型(落地型)
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小型(台式)
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EDS只須添加所需量的液態氮，不需特別設備，而WDS則因必v大，需迴圈冷卻水裝置與樣品的前處理。
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儀器價格
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價格高
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價格低
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適合何種測定
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開發研究
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常規測定
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開發研究完全未知的樣品時，適用WDS；若能預測一定程度的成分時，且考慮操作性時，則適用EDS。
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試用產業
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(1) 學校研究
(2) 元素研究
(3) 礦物、金屬成份研究
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(1) 產業界品管
(2) 塑料重金屬
(3) 金屬薄膜厚度
(4) 金屬成份研究
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