X-ray螢光-XRF ITO材料應用及成份分析技術

ITO(Indium Tin Oxide)- 氧化銦錫，為銦氧化物和錫氧化物的混合物。主要的特性為電學傳導和光學透明度，可同時具有低電阻率及高光穿透率的特性，製成薄膜時符合了導電性及透光性良好的要求。隨著提高材料電導率，透明度也會隨著降低。

       
近年來被廣泛用在各種平板顯示器的製作中，各種觸摸屏等光電元件上。ITO除了用於各種光學鍍膜外，也用於製作液晶顯示器、平板顯示器、電漿顯示器、觸摸屏、電子紙等應用、有機發光二極體、太陽能電池以及抗靜電鍍膜等，其應用相當的廣泛。

 ITO可有效切斷對人體有害的電子輻射，紫外線及遠紅外線。噴塗在玻璃、塑膠及電子顯示幕上時，增強導電性和透明性的同時並切斷對人體有害的電子輻射及紫、紅外線。ITO透明導電膜是平面顯示器上重要的組件，其特性會與鍍膜製程中的參數及材料合成比例有極為密切的關係。如果來看其穿透率，其穿透率已達90%以上，ITO的透光率和電阻值分別由In₂O₃與Sn₂O₃之比例來控制，通常比例是為Sn₂O₃:In₂O₃=1:9。

 
  
ITO-氧化銦錫在製成成品-薄膜狀前，都是由氧化銦及氧化錫等氧化物粉末，由一定比例加以混合後，壓製成藥錠狀而進行燒結熱處理，以型成製品或靶材。如何有效利用XRF(X射線螢光分析儀)對壓錠製成的成品進行快速、非破壞性的篩檢，以確保ITO-氧化銦錫內的比例是否正確。
 

以下透過精工 SEA 1200VX進行檢測，可快速清楚了解ITO塊體內所含銦；錫比例。

(1)   ITO-氧化銦錫-塊體狀-建立檢量線測量:



(2)   ITO-氧化銦錫-圓柱狀-建立檢量線並重複測量10次:



分析ITO-氧化銦錫中，不論樣品的形狀與厚度如何，透過專利技術-形狀厚度補正功能，透過SEIKO 1200VX完整呈現分析再線性，不同次的檢測分析結果差異是非常小的。

而在分析材料時，一般市面上XRF在分析相同元素材料的粉體時，常會出現與塊體狀樣本不同的分析結果，SEIKO 1200VX卻不會出現此結果，範例分析結果如下:

 (3) ITO-氧化銦錫-粉體狀-建立檢量線測量:



日本精工-SEA 1200VX 已採用最新SDD型檢測器-Vortex-SDD，其能量分辨率和高計數率性能是所有半導體探測器中最好的，提供絕佳檢測下限及快速檢測。檢測速度是一般檢測器的15~20倍，針對微量元素及輕元素分析的應用極佳，為用於非破壞檢測有害物質的最高階儀器，達到快速、精準檢測目的。SEA 1200VX為各種材料做出最嚴格篩檢、透過極低的檢測下限及檢量線的建立，讓材料在品質、質量控制和綜合利用開發上提供了完善基礎數據，建立一套簡便、快速、客觀性好的檢測標準。
 
不同比例的氧化銦及氧化錫結合的靶材、薄膜會有低電阻率、表面均勻性較佳等特性，隨著改良研發後，所製成的成本也會提高。在成本提高的狀況下，如何有效利用XRF分析法，在未來品管及相關改良與增加其光電特性之研究上，佔有非常重要課題。
 
若有任何技術問題或產品需求，歡迎與我們聯絡!
科邁斯科技股份有限公司
Tel: 886-2-8990-1779