- 技術原理 -
11.Jan.2021
X-ray螢光-XRF 利用XRF進行殘留微小異物分析方法
隨著品質要求提升，XRF螢光元素分析儀儼然已成為各家中小企業工廠品管系統內必備的IQC成分檢驗的項目之一，然而，XRF除了用作於RoHS歐盟有害物質檢驗分析外，還可以用來作為什麼應用呢？
如下客戶在製成中，發現基材上不時有異物殘留，於是欲希望利用XRF元素分析儀，來進行異物定性功能分析，解決異物為何，出自於何處。
（左圖客戶樣品為塑膠板材，其表面有一微小長條狀異物殘留於其上）
分析方式如下：
一般異物由於面積非常小，可建議採用最小的XRF的光徑，來進行元素分析
- 若為SEA或EA系列桌上型XRF，其最小光徑為1mm ;
- 若為Olympus DELTA或VANTA手持式XRF，最小光徑則可確認是否選配3mm光徑
異物定性分析方法流程 :
- 先測試含異物區塊。
- 再選不含異物的背景區進行測試。
- 進行兩能譜比對(相減)，透過能譜或成分差異進一步判別異物成分。
分析異物結果報告：
由此分析方法得知，雖傳統方法異物大部分皆由SEM-EDX來進行，然而XRF最小光徑(1mm)較SEM大，倘若殘留未知物仍有釐米等級面積大小，還是可藉由殘留的異物與背景材料的對比分析方式，從而獲得異物為何，不失為一個取代SEM之快速分析方法。
測試參考條件
[X-射線能譜]
| 樣品影像 – A (含異物) | 樣品影像 – B (背景處) |
|---|---|
 |
 |
| 上圖紅圈區塊則為XRF測試之區塊 | |
測試參考條件
| 樣品 | A | B |
|---|---|---|
| 測量時間(秒) | 250 | 250 |
| Collimator | 圓圈1.0mm | 圓圈1.0mm |
| X-光管電壓(kV) | 50 | 50 |
| X-光管電流(μA) | 1000 | 1000 |
| 濾波器 | Pb用 | Pb用 |
[X-射線能譜]
EA1000AIII
EA1200VX
EA6000VX
從以上[X-射線能譜]相扣除後得知，於銅(Cu)分析線處為相異之處，因此可確認該異物其包含銅(Cu)成分。
此異物判定測試結果為銅(Cu)異物掉落或殘留。
此異物判定測試結果為銅(Cu)異物掉落或殘留。
若有任何問題歡迎您與我們聯絡。
☎️ +886-2-8990-1779
其他相關訊息
-
14.Oct.2024X-rite-色差儀 色彩管理中的Lab值是什麽，其中△E又該如何計算？
